特長
●使用於10L/min以下小流量過濾、一次性抛棄式精密濾心。
●精度範圍從0.1μ~75μ依據過濾需求提案適當濾材。
●出廠前可配合預洗。(※選配)
適用領域
◆IC半導體製程用超純水
◆溶劑、顯影劑、現像液等微小雜質
◆各種藥液低流量過濾及小規模製程過濾