特長

●使用於10L/min以下小流量過濾、一次性抛棄式精密濾心。

●精度範圍從0.1μ～75μ依據過濾需求提案適當濾材。

●出廠前可配合預洗。(※選配)

適用領域

◆IC半導體製程用超純水

◆溶劑、顯影劑、現像液等微小雜質

◆各種藥液低流量過濾及小規模製程過濾