特長

●10L/min以下の小流量の使い捨てフィルター。

●ろ過精度は0.1ミクロン～75ミクロン幅広く選択可能。

●ろ材はユースポイントで委託製造、少量対応も可能。

●リンス対応も実可能。(※オプション)

適用分野

◆溶剤、フォトレジスト、現像液などの異物除去