特長
●10L/min以下の小流量の使い捨てフィルター。
●ろ過精度は0.1ミクロン~75ミクロン幅広く選択可能。
●ろ材はユースポイントで委託製造、少量対応も可能。
●リンス対応も実可能。(※オプション)
適用分野
◆溶剤、フォトレジスト、現像液などの異物除去